发明名称 Method of fabricating semiconductor substrate having very shallow impurity diffusion layer
摘要
申请公布号 US5270250(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 US19910812483 申请日期 1991.12.23
申请人 M. SETEK CO., LTD. 发明人 MURAI, TSUYOSHI;NAKAMURA, SHIGEAKI;KONAKA, TOSHINORI;MIZUNO, SHIGERU
分类号 H01L21/265;H01L21/00;H01L21/223;H01L21/26;(IPC1-7):H01C21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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