改善光学镀膜面精度的光学元件及其方法

摘要

本发明提供一种改善光学镀膜面精度的光学元件，包含：一基材及至少一光学镀膜。该光学镀膜具有一形成于该基材上且呈一拉张应力及一压缩应力其中一者的第一折射层，及一叠置于该第一折射层且呈一拉张应力及一压缩应力其中另一者的第二折射层。该第一折射层的应力值比该第二折射层的应力值为X：Y，该第一折射层的平均厚度比该第二折射层的平均厚度为Y：X，且X：Y是介于3：1~1：3之间，藉该第一、二折射层于应力上呈互补的特性以改善该光学镀膜的面精度。本发明亦提供一种改善光学镀膜面精度的方法。