| 摘要 |
一种用于无机层体的沉积来源以及一种用于控制其一个加热源的方法，能够藉着将达到稳定的沉积速率所需要的时间减少到最少来增进沉积效率、防止喷嘴的凝固物及/或精确地控制温度。沉积来源包括有：一个加热单元，其包括有一个用于将热应用到一个熔化锅的加热源；一个壳体，用于隔离从该加热单元发散出来的热；一个外壁，用于固定该熔化锅；以及一个喷嘴单元，用于喷洒从熔化锅蒸发的沉积材料。该加热单元包括有一个第一单元以及一个第二单元。该熔化锅系定位在该第一单元与该第二单元之间，且该加热单元包括有一个用于供应电力到该第一单元的第一动力源以及一个用于供应电力到该第二单元的第二动力源。 |
