| 发明名称 |
METHOD OF FORMING METAL WIRING AND METAL WIRING FORMING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1092820(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19960242302 |
申请日期 |
1996.09.12 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KAWAKUBO TAKASHI;SHIMAMURA KEIZO |
| 分类号 |
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
