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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH10326841(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19970135362 申请日期 1997.05.26
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NAMATAME KEN
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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