发明名称 FERROELECTRIC MEMORY ELECTRODE AND ITS FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11204743(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980005168 申请日期 1998.01.13
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KOIWA ICHIRO;OKADA YUKIHISA;KANEHARA TAKAO;KATOU HIROYO
分类号 H01L21/8247;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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