| 发明名称 |
CONNECTING MEMBER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION THEREOF, SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING APPARATUS OF THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11204698(A) |
申请公布日期 |
1999.07.30 |
| 申请号 |
JP19980014911 |
申请日期 |
1998.01.09 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHIRAISHI TSUKASA;MITANI TSUTOMU;ONO MASAHIRO;BESSHO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L23/32;(IPC1-7):H01L23/32 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
