发明名称 |
ELECTRODE PLATE AND APPARATUS FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENT CONTINUITY USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11204590(A) |
申请公布日期 |
1999.07.30 |
申请号 |
JP19980005370 |
申请日期 |
1998.01.14 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIURA KAZUMA;SERIZAWA KOJI;ARIMA HIDEO;YAMAMOTO KENICHI;HASEBE AKIO;MORINAGA KENICHIRO |
分类号 |
G01R31/26;G01R1/06;H01L21/60;H01L21/66;H01R43/00;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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