导电性测量装置及其制造和使用

摘要

本发明涉及制造用于测量液体，尤其是超纯水的导电性的装置的方法，所述装置包括两个导电性测量电极，所述导电性测量电极适于限定可以对超纯液体的导电性进行测量的器件常数，其特征在于所述方法用导电材料在绝缘材料的基体上形成电极图案来制成各个电极。本发明还涉及由所述方法获得的导电性测量装置和应用所述导电性测量装置用于测量总有机碳含量的装置。

主权项

1.制造用于测量液体，尤其是超纯水的导电性的装置的方法，所述装置包括两个导电性测量电极，所述导电性测量电极适于限定能够对超纯液体的导电性进行测量的器件常数，其特征在于所述方法包括用导电材料在绝缘材料的基体上形成电极图案来制成各个电极。