| 摘要 |
기판이송장치가 제공된다. 본 발명에 따른 기판이송장치는 웨이퍼로부터 다이를 픽업하여 공급된 기판 상에 실장하는 실장부와, 상기 기판을 지지하여 다이가 기판 상에 실장되도록 하는 실장 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어와 평행하게 배치되며, 기판을 진행방향으로 이송시키는 버퍼 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하며, 상기 실장 컨베이어에 기판을 공급하는 공급 컨베이어와, 상기 공급 컨베이어와 대향하여 위치하며, 상기 실장 컨베이어와 상기 버퍼 컨베이어 사이를 왕복 가능하게 구비되어 기판을 이송시키는 셔틀 컨베이어와, 상기 실장 컨베이어로부터 실장을 마친 기판을 진행방향을 따라 외부로 이송시키는 배출 컨베이어를 포함한다. |
