| 摘要 |
본 발명의 일 측면에 의하면, 복수의 화소를 구비하고, 각 화소는 제1 전극층과 제2 전극층, 및 상기 제1 전극층과 제2 전극층 사이에 유기 발광층을 구비하고, 상기 제1 전극층의 두께에 따라 각 화소의 사출 파장이 달라지는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법으로서, (a) 기판 상에 평탄화층, 금속층, 반사층, 제1 투명도전층, 및 제2 투명도전층을 순차로 형성하는 단계; (b) 상기 (a) 단계의 결과물 상에 제1 포토레지스터를 도포하고, 제1 포토마스크로 서로 다른 두 개의 두께를 갖는 제1 포토레지스터 패턴을 형성하여, 상기 반사층, 제1 투명도전층, 및 제2 투명도전층을 서로 분리된 복수의 적층구조물로 식각하는 단계; (c) 상기 제1 포토레지스터 패턴의 일부 두께를 제거하여 상기 복수의 적층구조물 중 일부 적층구조물의 제2 투명도전층을 노출시키는 단계; (d) 상부가 노출된 제2 투명도전층 및 잔존하는 제1 포토레지스터를 마스크로 하여, 상기 제1 투명도전층 및 제2 투명도전층 사이에 노출된 상기 금속층을 제거하는 단계; (e) 상기 노출된 제2 투명도전층을 제거하는 단계; 및 (f) 잔존하는 제1 포토레지스터 패턴을 제거하는 단계;를 포함하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다. |
