EUV EUV OPTICAL ELEMENT HAVING BLISTER-RESISTANT MULTILAYER CAP

摘要

다층 미러는 다층 구조체를 갖는 캡을 포함하며, 다층 구조체가 상단층 및 일련의 이중층(bilayer)을 가지며, 각각의 이중층이 흡수체층 및 스페이서층을 가지며, 상단층, 흡수체층, 및 스페이서층을 위한 재료는 블리스터링에 저항하도록 선택된다.