| 摘要 |
이 엔드 이펙터(2)는, 복수의 블레이드 본체(5)와, 복수의 블레이드 본체(5)의 각각의 블레이드 기단측에 설치된 기판 유지 수단(6)을 구비한다. 기판 유지 수단(6)은, 기판의 이면 가장자리부가 올려지는 기판 재치부와, 기판 재치부의 블레이드 기단측으로부터 상방을 향해 연장되고, 기판의 측단부가 맞닿는 기판 접촉부를 갖는다. 하측의 블레이드 본체(5)의 기판 접촉부의 상단과 상측의 블레이드 본체(5)의 이면의 사이에 기판이 진입할 수 없도록 기판 접촉부의 높이가 설정되어 있다. 상하 방향 피치를 변경 가능한 복수의 블레이드를 구비한 엔드 이펙터에 있어서, 고밀도로 탑재된 기판을 지장없이 유지할 수 있다. |
