发明名称 丝线键合系统及相关方法
摘要 本发明涉及丝线键合系统及相关方法。实施方式可以包括:包含铜(Cu)的键合丝线、包含铝(Al)的键合焊盘以及与键合焊盘电耦接的牺牲阳极,其中该牺牲阳极包含具有在Al的标准电极电位以下的标准电极电位的一种或多种元素。
申请公布号 CN106057762A 申请公布日期 2016.10.26
申请号 CN201610232777.X 申请日期 2016.04.15
申请人 半导体元件工业有限责任公司 发明人 覃文涛;G·M·格里瓦纳;H·安德森;T·安德森;G·常
分类号 H01L23/49(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I 主分类号 H01L23/49(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 秦晨
主权项 一种丝线键合系统,包括:包含Cu的键合丝线;包含Al的键合焊盘;以及与所述键合焊盘电耦接的牺牲阳极,所述牺牲阳极包含一种或多种元素,所述一种或多种元素具有的标准电极电位低于Al的标准电极电位。
地址 美国亚利桑那