| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung sieht ein Verfahren zum Fertigen eines Behälters aus pyrolytischem Bornitrid (PBN) vor, das die folgenden Schritte beinhaltet: Ausbilden einer Schicht von pyrolytischem Bornitrid an einer aus Kohlenstoff gefertigten Behälterform anhand eines thermischen CVD-Verfahrens; Entfernen der Schicht aus pyrolytischem Bornitrid von der Behälterform, um ein behälterförmiges Formstück zu erhalten; Ausführen einer Oxidationsbehandlung an dem behälterförmigen Formstück, um anhaftenden Kohlenstoff an einer Oberfläche des behälterförmigen Formstücks zu entfernen, der von der Behälterform stammt; und anschließendes Durchführen einer Stärkenreduktionsbehandlung an dem behälterförmigen Formstück von einer Seite, die Kontakt mit der Behälterform hatte, um den Behälter aus pyrolytischem Bornitrid auszubilden. Die vorliegende Erfindung sieht auch einen solchen PBN-Behälter vor. Der erfindungsgemäße PBN-Behälter delaminiert oder schält sich nur schwer und ist zum Züchten eines Einkristalls geeignet. |
