发明名称 METHOD OF PRODUCING A GALLIUM ARSENIDE FIELD EFFECT TRANSISTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0166342(A3) 申请公布日期 1986.12.30
申请号 EP19850107442 申请日期 1985.06.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 TIWARI, SANDIP
分类号 H01L21/225;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/04;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/324;H01L29/80 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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