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<p>Die mikromechanisch hergestellte Düse zur Erzeugung reproduzierbarer kleiner Tropfen besteht aus einem Flüssigkeitsbehälter, der durch eine Siliziumstruktur (1) und eine Pyrexstruktur (13) eingegrenzt ist. Die Siliziumstruktur ist ein Siliziumwafer (1) bestehend aus einer Siliziumoxidschicht (SiOx)(2 und 3) und einer Silizium-Nitrat Schicht (SI3N4) (4 und 5) mit einer Düse aus Siliziumoxid (SiO3) (12), welche eine Düsenöffnung (22) eines Flüssigkeitsbehälters (21) bildet. Die Flüssigkeit wird durch einen in der Pyrexstruktur geformten Kanal (19) in den Flüssigkeitsbehälter geführt. Eine Scheibe (20) aus piezoelektrischem Material erzeugt einen Druck auf die im Behälter (21) befindliche Flüssigkeit, welche die Düse (22) in Form eines Tropfens verlässt.</p> |
