金刚石复合涂层拉丝模制备方法

摘要

一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法，以大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经稀盐酸滴加双氧水腐蚀，清洗后用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜，然后降低反应气体压力，增加碳源体积浓度，并添加Ar气，原位继续沉积一层纳米金刚石膜组成复合涂层。本发明的复合涂层既具有常规涂层耐磨，附着力强的优点，又兼有纳米金刚石涂层表面光滑，摩擦系数小，易研磨抛光等特点，适用于各种金属材料的拉丝。

主权项

1、一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法，以大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经稀盐酸滴加双氧水腐蚀和金刚石粉末研磨预处理后，用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜，其特征在于当常规涂层达到10～20微米后，开始原位沉积纳米金刚石涂层，反应气体压力降低到0.5～2KPa，碳源体积浓度增加到2％～6％，并添加Ar气，Ar/H2体积比为0.3～2，沉积得到纳米金刚石膜后组成复合金刚石涂层，再对涂层进行研磨抛光。