发明名称 |
磁盘用基板 |
摘要 |
本发明涉及包括(a)使用含有平均粒径为0.05~0.5μm的氧化铝磨粒和氧化剂的研磨液(研磨液组合物A)研磨加工基板的工序,和(b)使用含有平均粒径为0.005~0.1μm的二氧化硅粒子的研磨液(研磨液组合物B)研磨加工基板的工序的磁盘用基板的制造方法、由上述磁盘用基板的制造方法得到的磁盘用基板,以及具有长波长表面波纹为0.05nm以上0.3nm以下,且AFM表面粗糙度为0.03nm以上0.2nm以下的表面特性的磁盘用基板。该磁盘用基板适用于制造高记录密度的硬盘。特别地,可以产业化制造50G比特/平方英寸以上的高记录密度的硬盘。 |
申请公布号 |
CN100469527C |
申请公布日期 |
2009.03.18 |
申请号 |
CN200410056293.1 |
申请日期 |
2004.08.06 |
申请人 |
花王株式会社 |
发明人 |
藤井滋夫;北山博昭 |
分类号 |
B24B1/00(2006.01)I;G11B5/84(2006.01)I;G11B5/73(2006.01)I |
主分类号 |
B24B1/00(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
张晓威 |
主权项 |
1、磁盘用基板的制造方法,其具有(a)使用含有平均粒径为0.05~0.5μm的氧化铝磨粒和氧化剂的研磨液组合物A研磨加工基板的工序;和(b)使用含有平均粒径为0.005~0.1μm的二氧化硅粒子的研磨液组合物B研磨加工基板的工序。 |
地址 |
日本东京 |