发明名称 固定治具及工件之处理方法
摘要 [课题]是由板状的治具本体(2)、和紧贴保持而自由装卸工件(W)的紧贴层(3)所构成,治具本体在单面具有支承紧贴层的复数个支承突起(4),并且在单面的外周部具有和支承突起同等高度的侧壁(5),在该侧壁的端面黏着有紧贴层,在紧贴层和治具本体之间划分出区划空间(6),经由形成于治具本体的通气孔(7)来吸引区划空间内的空气,藉此使紧贴层变形之物,即使在进行对工件施力这样的处理时,仍可确实地支承固定工件。[解决手段]在治具本体(2)形成吸附孔(8),该吸附孔(8)开口至紧贴层(3)侧的外表面且不连通至区划空间(6)。然后,在紧贴层(3)形成连通至吸附孔(8)的贯通孔(9),利用吸附孔(8)的真空吸引,使吸附力作用于工件(W)。
申请公布号 TW200926347 申请公布日期 2009.06.16
申请号 TW097130427 申请日期 2008.08.08
申请人 琳得科股份有限公司;信越聚合物股份有限公司 发明人 濑川丈士;田中清文
分类号 H01L21/683(2006.01) 主分类号 H01L21/683(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本