| 摘要 |
본 기재의 증착 장치는, 내부에 진공 분위기를 형성하는 챔버, 챔버 내에 위치하며, 증착 물질이 수용되어 기화되는 증착 물질 수용부, 증착 물질 수용부에 대향 배치되며, 기판이 고정되는 기판 고정부 및 상기 기판의 일면에 배치되며, 자석을 포함하여 자석의 자력을 이용해 상기 기판의 타면에 마스크를 고정시키는 마스크 고정부를 포함하며, 마스크 고정부는, 제1 방향을 따라 동력을 제공받아 왕복 운동하는 구동 캠 유닛, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라, 구동 캠 유닛의 왕복 운동에 대해 종속적으로 왕복 운동하는 종동 캠 유닛 및 구동 캠 유닛에 동력을 제공하는 구동 모터를 포함하여, 기판 및 마스크의 크기가 변경되어도 장치나 마스크 고정부를 교체할 필요 없이 자석들 사이의 간격 조절이 가능하다. |
