| 发明名称 |
PLASMA RESISTANT ELECTROSTATIC CLAMP |
| 摘要 |
기판을 지지하기 위한 장치는 베이스 및 베이스에 인접하고 기판의 표면을 지지하도록 구성된 절연체 부분을 포함할 수 있다. 장치는 또한 기판에 클램핑 전압을 인가하는 전극 시스템을 포함할 수 있고, 절연체 부분은 임의의 채널 폭을 갖는 적어도 하나의 채널을 통하여 기판에 가스를 제공하도록 구성되고, 가스 압력 및 채널 폭의 곱은 가스에 대한 파센 최소값보다 작고, 가스의 항복 전압이 최소인 파센 최소값은 인클로저의 표면들의 간격과 압력의 곱이다. |
| 申请公布号 |
KR20160119228(A) |
申请公布日期 |
2016.10.12 |
| 申请号 |
KR20167025093 |
申请日期 |
2015.02.04 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
STONE DALE K.;BLAKE JULIAN G.;STONE LYUDMILA |
| 分类号 |
H01L21/683;H01J37/32;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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