发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04275994(A) |
申请公布日期 |
1992.10.01 |
申请号 |
JP19910053996 |
申请日期 |
1991.02.26 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NISHIO JOSHI;FUJITA HIROMOTO |
分类号 |
C30B11/00;C30B13/00;C30B15/00;C30B29/06;C30B29/40;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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