发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04275994(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910053996 申请日期 1991.02.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIO JOSHI;FUJITA HIROMOTO
分类号 C30B11/00;C30B13/00;C30B15/00;C30B29/06;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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