发明名称 ETCHING CELL AND PRODUCTION OF ETCHED WORK BY USING THIS CELL
摘要
申请公布号 JPH0586487(A) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 JP19910248874 申请日期 1991.09.27
申请人 NIKON CORP 发明人 MORIYAMA TAKESHI;SHIMIZU SUMUTO
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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