发明名称
摘要
申请公布号 JPH0743644(Y2) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19890148433U 申请日期 1989.12.22
申请人 发明人
分类号 G01N27/12;G01N1/10;G01N1/22;G01N27/04;H01L23/40;H01L23/467;H05K7/20;(IPC1-7):G01N27/04 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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