发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09213697(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960018681 申请日期 1996.02.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ICHIKAWA MASAAKI;IZUMI KIYOSHI
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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