发明名称 PRESSURE-SENSITIVE ADHESIVE FILM FOR GRINDING BACKSIDE OF SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD FOR GRINDING BACKSIDE OF SEMICONDUCTOR WAFER THEREWITH
摘要
申请公布号 JPH11315259(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980169384 申请日期 1998.06.17
申请人 MITSUI CHEM INC 发明人 MIYAGAWA SEISHI;FUJII YASUHISA;KATAOKA MAKOTO;HIRAI KENTARO;FUKUMOTO HIDEKI;IZUKAWA TSUKURU
分类号 C09J7/02;C09J133/00;C09J171/02;H01L21/304;(IPC1-7):C09J7/02 主分类号 C09J7/02
代理机构 代理人
主权项
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