摘要 |
一种晶圆级晶片封装制程,其包括下列步骤:首先,提供具有一晶片密合层以及一透光层的一透光基板。然后,切割晶片密合层,以形成一预定深度之第一凹槽,并形成一胶体于晶片密合层上。接着,提供具有一背面以及一主动表面的一晶圆,并将透光基板配置于晶圆之主动表面上,而晶片密合层是藉由胶体以接合于主动表面。接着,切割透光层,以形成一预定深度之第二凹槽,其中第二凹槽对应于第一凹槽。接着,再切割晶圆之背面,以形成一预定深度之第三凹槽,而第三凹槽亦是对应于第一凹槽。之后,单颗化晶圆及透光基板,以形成多个晶片封装结构。 |