发明名称 Micromechanical device and process for the manufacture of a micromechanical device
摘要
申请公布号 EP1228998(B1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20010125720 申请日期 2001.10.27
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FISCHER, FRANK;HEIN, PETER, DR.;GRAF, ECKHARD
分类号 B81B3/00;B81C99/00;B81B7/00;B81C1/00;B81C3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址