半导体薄膜,及其制造方法,与薄膜电晶体,主动矩阵驱动显示面板

摘要

本发明系提供一种可较低温的制作，亦可形成于具有弯曲性的树脂基板上的半导体薄膜，其系对于可见光稳定，且电晶体特性等的元件特性高，作为驱动显示装置之开关元件使用时，即使与画素部重叠亦不会降低显示面板的亮度之半导体薄膜，系使含有氧化锌与氧化铟之非晶质膜进行成膜，直到成为载子密度为10+17cm-3以下、霍尔迁移率为2cm2/Vsec以上、能带间隙为2.4eV以上后，氧化处理形成透明半导体薄膜40。