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摘要
申请公布号
JP4419526(B2)
申请公布日期
2010.02.24
申请号
JP20030378822
申请日期
2003.11.07
申请人
发明人
分类号
C23C16/448;H01L21/31
主分类号
C23C16/448
代理机构
代理人
主权项
地址
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