| 摘要 |
본 발명은 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버 및 외부 전자기장에 민감한 초고진공 하전입자빔 분석장비 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄소 함량이 적은 저탄소강(mild steels) 진공챔버를 사용하여 자기장을 차폐하며, 동시에 초고진공, 극고진공 환경을 유지시켜 물질, 디바이스 등의 분석을 수행할 수 있는 하전입자빔 분석장비에 관한 것이다. 이를 위하여 중공의 기둥형태로 구성되고, 일측이 개방되는 용기; 및 용기의 개방된 일측이 밀폐될 수 있도록 결합되는 커버;를 포함하고, 용기의 내부에는 하전입자빔 분석장치가 수용되며, 용기는 저탄소강 재질로 구성되고, 용기의 내부는 1x10torr 이하의 초고진공으로 이용되는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버를 제공할 수 있다. 이에 따르면 초고진공 진공 환경과 자기차폐를 동시에 달성할 수 있는 저렴한 가격의 진공챔버를 구현할 수 있는 효과가 있다. |
