微型声学传感器及其制造方法

摘要

一种微型声学传感器及其制造方法，首先，提供基板，基板中具有至少一第一气腔以及一位于第一气腔上之第二气腔，接着在基板上形成具有多个声孔之背板，然后于背板上形成振动膜，振动膜与背板之间具有一振动空间，其中，透过各个声孔使得振动空间、第二气腔以及第一气腔互相相通，而振动膜之周围具有复数个套环，这些套环可套住形成于基板上之各个固定桩，或是在基板上形成扣件扣于振动膜上所设之扣孔，由于以套环或扣孔作为振动膜之边界结构得以提高振动膜的机械灵敏度，此外，背板系由蚀刻基板所形成之单晶结构来支撑以提高结构稳定性。