发明名称 薄膜电晶体阵列基板及其修补方法
摘要 一种薄膜电晶体阵列基板及其修补方法,其中薄膜电晶体阵列基板的每一画素单元中系具有多个上电极,以与其所对应之共用配线形成多个电容。若有电容为瑕疵电容时,只需使对应于此瑕疵电容的画素电极与同一画素单元内其余部分的画素电极电性绝缘,便可让此画素单元内的其他电容正常作动,而维持此画素单元的正常显示。因此,藉由本发明之薄膜电晶体阵列基板及其修补方法可对具有瑕疵电容之薄膜电晶体阵列基板进行修补,进而提高薄膜电晶体阵列基板之制程良率。
申请公布号 TWI284241 申请公布日期 2007.07.21
申请号 TW093133299 申请日期 2004.11.02
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 黄韦凯;陈奕任;蔡承勋;王炯宾
分类号 G02F1/1343(2006.01) 主分类号 G02F1/1343(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种薄膜电晶体阵列基板,包括: 一基板; 复数条扫描配线,配置于该基板上; 复数条资料配线,配置于该基板上,且该些资料配 线与该些扫描配线系于该基板上划分出复数个画 素区域; 复数条共用配线,配置于该基板上,且每一该些共 用配线之部分系位于该些画素区域其中之一内; 复数个画素单元,配置于该基板上,且每一该些画 素单元系位于该些画素区域其中之一内,以藉由其 所对应之该些扫描配线其中之一与该些资料配线 其中之一进行驱动,其中每一该些画素单元包括: 一薄膜电晶体,系耦接至其所对应之该扫描配线与 该资料配线; 一图案化之画素电极,配置于其所对应之该共用配 线的上方,并耦接至该薄膜电晶体,且该画素电极 具有至少一狭缝;以及 复数个上电极,系配置于该画素电极与其所对应之 该共用配线之间,其中该些上电极系耦接至该画素 电极,并与其所对应之该共用配线耦合形成复数个 电容。 2.如申请专利范围第1项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中每一该些狭缝之边缘系呈锯齿状(jag profile )。 3.一种薄膜电晶体阵列基板,包括: 一基板; 复数条扫描配线,配置于该基板上; 复数条资料配线,配置于该基板上,且该些资料配 线与该些扫描配线系于该基板上划分出复数个画 素区域; 复数条共用配线,配置于该基板上,且每一该些共 用配线之部分系位于该些画素区域其中之一内; 复数个画素单元,配置于该基板上,且每一该些画 素单元系位于该些画素区域其中之一内,以藉由其 所对应之该些扫描配线其中之一与该些资料配线 其中之一进行驱动,其中每一该些画素单元包括: 一薄膜电晶体,系耦接至其所对应之该扫描配线与 该资料配线; 一图案化之画素电极,配置于其所对应之该共用配 线的上方,并耦接至该薄膜电晶体,且该画素电极 具有至少一狭缝;以及 复数个上电极,系配置于该画素电极与其所对应之 该共用配线之间,其中该些上电极系耦接至该画素 电极,并适于与其所对应之该共用配线耦合形成复 数个电容, 其中该些电容之中具有至少一瑕疵电容,且对应于 该瑕疵电容的部分该画素电极系与其余部分的该 画素电极电性绝缘。 4.如申请专利范围第3项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中该瑕疵电容的该上电极与其所对应的该共 用配线之间具有颗粒及/或孔洞。 5.如申请专利范围第3项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中该瑕疵电容所对应的该画素电极与其所对 应的该共用配线之间具有颗粒及/或孔洞。 6.如申请专利范围第3项所述之薄膜电晶体阵列基 板,更包括一导电残留物,其系耦接于该瑕疵电容 的该上电极以及与其相邻之该些资料配线其中之 一之间。 7.如申请专利范围第6项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中该些上电极、该些资料配线与该导电残留 物之材质相同。 8.如申请专利范围第7项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中该导电残留物之材质包括铝。 9.如申请专利范围第3项所述之薄膜电晶体阵列基 板,更包括一导电残留物,其系耦接于该瑕疵电容 所对应的该画素电极以及与其相邻之其他该些画 素电极其中之一之间。 10.如申请专利范围第9项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中该导电残留物之材质包括铟锡氧化物。 11.如申请专利范围第3项所述之薄膜电晶体阵列基 板,其中每一该些狭缝之边缘系呈锯齿状(jag profile )。 12.一种薄膜电晶体阵列基板的修补方法,适于对申 请专利范围第1项所述之薄膜电晶体阵列基板进行 修补,其中该薄膜电晶体阵列基板具有一瑕疵电容 ,该修补方法包括: 移除该瑕疵电容所对应之该画素电极的局部区域, 以使对应于该瑕疵电容的部分该画素电极与其余 部分的该画素电极电性绝缘。 13.如申请专利范围第12项所述之薄膜电晶体阵列 基板的修补方法,其中系藉由雷射来移除该画素电 极的局部区域。 图式简单说明: 图1A绘示为习知一种具有MIM储存电容之薄膜电晶 体阵列基板的局部上视图。 图1B绘示为图1A的A-A'剖面图。 图2A~4A分别绘示为习知多种失效之MIM储存电容的 局部上视图。 图2B~4B分别绘示为图2A~4A的A-A'剖面图。 图5A绘示为本发明之一种多区域垂直配向之液晶 显示面板之薄膜电晶体阵列基板的局部上视图。 图5B绘示为图5A的A-A'剖面图。 图6A绘示为一种具有瑕疵电容的薄膜电晶体阵列 基板的局部上视图。 图6B绘示为图6A的A-A'剖面图。 图7A绘示为一种具有瑕疵电容的薄膜电晶体阵列 基板的局部上视图。 图7B绘示为图7A的A-A'剖面图。 图8A绘示为一种具有瑕疵电容的薄膜电晶体阵列 基板的局部上视图。 图8B绘示为图8A的A-A'剖面图。 图9A绘示为一种具有瑕疵电容的薄膜电晶体阵列 基板的局部上视图。 图9B绘示为图9A的A-A'剖面图。
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