双级爪式转子真空泵

摘要

一种双级爪式转子真空泵,每个转子的横截面形状为有一外凸单爪和一内凹弧槽的圆柱体,每个转子对之间及其与周围泵腔间各部分均存在间隙而使转子悬浮在泵腔中,两对转子分别装在两个互相隔离的泵腔中,两腔之间有气道连通,两对转子在空间的方位存在一定的相位差,该相位差使第一级泵腔排气时,第二级泵腔恰好处于吸气状态。本实用新型实现无油抽真空,极限压力<1×10³Pa,能排除可凝性气体在泵内凝结,结构简单,体积小,使用范围广泛。

主权项

1．一种双级爪式转子真空泵，由泵体和转子对组成，转子由电机驱动，泵体上设有进气孔和排气孔，其特征在于：a．每个转子的横截面形状为有一外凸单爪和一内凹弧槽的圆柱体，其外凸单爪两侧面为摆线，顶圆为圆弧；内凹弧槽两侧面为摆线，槽底为圆弧；每一转子的外凸单爪与另一转子的内凹圆弧为共轭面而组成转子对；b．每个转子对之间及其与周围泵腔间各部分均存在间隙而使转子悬浮在泵腔中；c．两对转子分别装在两个互相隔离的泵腔中，上泵腔连接进气口，下泵腔连接排气口，两腔之间有气道连通；d．两对转子在空间的方位存在一定的相位差，该相位差使第一级泵腔排气时，第二级泵腔恰好处于吸气状态。