发明名称 DEVICE FOR ENRICHING A GAS WITH A LIQUID
摘要 Bei einer Vorrichtung zum Anreichern eines Gases mit einer Flüssigkeit (7) in einem die Flüssigkeit enthaltenden Behälter (1), der in seinem oberen Bereich eine Flüssigkeitseinfüllöffnung (3) aufweist, wobie das Gas in dem Behälter (1) eingeleitet, durch die Flüssigkeit (7) hindurchgeführt und danach - mit Flüssigkeit angereichert - aus dem Behälter (1) herausgeleitet wird, ergibt sich eine besonders einfache Handhabung, insbesondere im Zusammenhang mit der Reinigung des Behälters, wenn der Behälter (1) zusätzlich zur Einfüllöffnung (3) eine Ablassöffnung (13) an der untersten Stelle des Behälters (1) aufweist.
申请公布号 WO9928039(A1) 申请公布日期 1999.06.10
申请号 WO1998EP07400 申请日期 1998.11.18
申请人 STEAG MICROTECH GMBH;STORZ, MICHAEL;PETERMANN, KLAUS 发明人 STORZ, MICHAEL;PETERMANN, KLAUS
分类号 B01F3/04;H01L21/00;(IPC1-7):B01L3/10 主分类号 B01F3/04
代理机构 代理人
主权项
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