高电压装置及其制造方法

摘要

一种高电压装置之制造方法，利用此种方法，透过在形成一具有垂直型漂移区的对衬高电压装置之过程中平面化一闸极能够减少一源极及一汲极之间的绝缘面积。因此在一沟道中闸极形成之高度低于一氧化间隔物之高度，用以减少源极与汲极之间的绝缘面积。