| 摘要 |
<p>Procédé de fabrication d'une jauge piézorésistive sur une face latérale d'une poutre flexible d'un accéléromètre. Ce procédé consiste à graver un substrat (22) perpendiculairement à sa surface (27) pour former un évidement (30) commun iquant avec celui (24) dans lequel est apte à se déplacer latéralement la poutre flexible (26), la zone de communication (32) représentant l'image de la jauge (44) à réaliser, à mettre en place à la surface du substrat un masque (34) muni d'une ouverture (36) située en regard dudit évidement (30) et se prolongeant en partie au-dessus de la poutre, à envoyer à travers l'ouverture un faisceau de particules (40) susceptible de former un dépôt (42) de matériau piézorésistif constituant la jauge (44) et des prises de contact électrique (46), ce faisceau étant orienté obliquement par rapport à la surface du substrat, à supprimer le masque et à réaliser des conducteurs électriques sur les faces supérieure (36) et inférieure (48) de la poutre en vue d'alimenter en courant la jauge.</p> |
