| 发明名称 |
LUBRICATING OIL AUTOMATIC RECOVERY DEVICE FOR DRY VACUUM PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0599181(A) |
申请公布日期 |
1993.04.20 |
| 申请号 |
JP19910254989 |
申请日期 |
1991.10.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIHASHI SHINJI;SHIIKI KAZUAKI;NAYA KOUTAROU |
| 分类号 |
F04C25/02;F04C27/00;F04C29/00;F04C29/02;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
F04C25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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