发明名称 APPARATUS FOR TREATING SURFACE OF BELT-SHAPED MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH07313948(A) 申请公布日期 1995.12.05
申请号 JP19940131388 申请日期 1994.05.20
申请人 NAMITEI KK 发明人 MURAO MASATSUGU
分类号 B08B11/00;B05C9/10;B08B3/02;H01L21/304;H01L23/50;(IPC1-7):B08B11/00 主分类号 B08B11/00
代理机构 代理人
主权项
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