发明名称 Esterification product of aromatic novolak resin with quinone diazide sulfonyl compound
摘要
申请公布号 EP0735425(A3) 申请公布日期 1997.12.03
申请号 EP19960104956 申请日期 1996.03.28
申请人 SHIPLEY COMPANY, L.L.C. 发明人 ZAMPINI, ANTHONY;TREFONAS III, PETER
分类号 G03F7/023;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
地址