发明名称 TRANSPARENT BODY FOR A TOUCH PANEL MANUFACTURING METHOD AND SYSTEM FOR MANUFACTURING A TRANSPARENT BODY FOR A TOUCH SCREEN PANEL
摘要 터치 스크린 패널을 위한 투명 바디를 제조하기 위한 프로세스가 설명된다. 프로세스는, 가요성 투명 기판 위에 제 1 투명 층 스택을 증착하는 단계 ― 상기 제 1 투명 층 스택은, 적어도, 제 1 굴절률을 갖는 제 1 유전체 막, 및 제 1 굴절률과 상이한 제 2 굴절률을 갖는 제 2 유전체 막을 포함함 ―; 제 1 투명 층 스택 위에 투명 전도성 막을 제공하는 단계; 투명 전도성 막 위에 전도성 재료의 층을 증착하는 단계; 전도성 재료의 층 위에 폴리머 층을 제공하는 단계; 폴리머 층 상에 패턴, 특히 3D 패턴을 임프린팅하는 단계; 터치 스크린 패널을 위한 전도성 경로들을 형성하기 위해, 패턴에 기초하여, 전도성 재료의 층을 에칭하는 단계; 및 터치 검출을 위한 구조화된 투명 전도성 패턴을 형성하기 위해, 패턴에 기초하여, 투명 전도성 막을 에칭하는 단계를 포함한다.
申请公布号 KR20160071473(A) 申请公布日期 2016.06.21
申请号 KR20167013169 申请日期 2014.10.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LOTZ HANS GEORG;MORRISON NEIL;DEPPISCH THOMAS
分类号 G06F3/041;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;G03F7/00;G03F9/00;G06F3/044;H05K1/02 主分类号 G06F3/041
代理机构 代理人
主权项
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