基于数字微镜阵列的紫外曝光机及其控制方法

摘要

本发明公开了一种基于数字微镜阵列的紫外曝光机及其控制方法，所述紫外曝光机包括数字微镜阵列和光源，所述数字微镜阵列和光源之间设置有照明光学装置，其中，所述数字微镜阵列和成像面之间设置有前组光学装置和画像分割装置，所述光源发出的光经过照明光学系统后到达数字微镜阵列，反射后的光线经过前组光学装置后，在画像分割装置中被分割成多组不同方向的光线后经各自的光学系统后在成像面上形成有一定位移的图像。本发明提供的基于数字微镜阵列的紫外曝光机及其控制方法，能够将原来不被利用的数字微镜阵列的部分，在和扫描方向相交的方向上平移后成像，使光刻宽度变大，实现大面积的一次扫描曝光，提高工作效率。

主权项

一种基于数字微镜阵列的紫外曝光机，包括数字微镜阵列(1)和光源(3)，所述数字微镜阵列(1)和光源(3)之间设置有照明光学装置(4)，其特征在于，所述数字微镜阵列(1)和成像面(2)之间设置有前组光学装置(5)和画像分割装置(6)，所述光源(3)发出的光经过照明光学系统(4)后到达数字微镜阵列(1)，反射后的光线经过前组光学装置(5)后，在画像分割装置(6)中被分割成多组不同方向的光线后经各自的光学系统后在成像面(2)上形成有一定位移的图像。