| 摘要 |
一种静电夹头，包括一夹持板件、一电极、一支承元件、一缓冲元件、一第一黏着剂与一第二黏着剂。夹持板件包括一高分子材料，并且夹持板件系用以对于一基板进行稳固地夹持。电极系设置于夹持板件之中，并且电极系用以产生一静电力以握持基板。支承元件系设置于夹持板件之下，并且支承元件系用以支承夹持板件。缓冲元件系设置于夹持板件与支承元件之间。第一黏着剂系设置于缓冲元件与夹持板件之间，并且第一黏着剂系稳固地将缓冲元件固持于夹持板件。第二黏着剂系设置于缓冲元件与支承元件之间，第二黏着剂系稳固地将缓冲元件固持于支承元件。 |
