发明名称 |
用于制造包括设置有至少一个箔形部件的目标基底的产品的辊对辊装置和方法 |
摘要 |
本发明公开了一种辊对辊装置,其用于制造包括设置有至少一个箔形部件(CP)的目标基底(TS)的产品。所述辊对辊装置包括:传送体(10),所述传送体具有圆筒形传送表面(14),所述圆筒形传送表面设置有至少一个粘合区(16)的图案,与周围区(18)相比,所述至少一个粘合区对于对准液(LQ)具有相对较高的亲和力;液体施用设备(20),所述液体施用设备用于将所述对准液(LQ)施用到所述圆筒形传送表面(14)上;基底供应设备(32、34),所述基底供应设备用于供应所述基底(TS);旋转设备(40),所述旋转设备耦接至所述传送体(10)用以使所述圆筒形传送表面(14)绕所述圆筒形传送表面的旋转轴线(12)转动;部件施用设备(50),所述部件施用设备用于将相应的箔形部件(CP)施用到所述至少一个粘合区(16)中的所述对准液(LQ)上;以及控制设备(70),所述控制设备用于控制所述装置使得所述被施用的相应箔形部件(CP)在所述移置期间通过由所述对准液施加的毛细力对准至所述粘合区的同时移置至箔形部件面对所述基底(TS)的装配位置,并且所述控制设备用于引起所述装置使所述被对准的相应箔形部件与所述目标基底在所述装配位置中接触以便传送所述箔形部件到所述目标基底。 |
申请公布号 |
CN105144405B |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201480019482.3 |
申请日期 |
2014.02.12 |
申请人 |
荷兰应用自然科学研究组织TNO |
发明人 |
J·范登布兰德;加里·阿鲁提诺夫;艾兹格·康斯坦特·彼得·施密特斯;A·H·迪策尔 |
分类号 |
H01L31/0392(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0392(2006.01)I |
代理机构 |
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 |
代理人 |
邬志岐;武晨燕 |
主权项 |
一种辊对辊装置,所述辊对辊装置用于制造包括设置有至少一个箔形部件(CP)的目标基底(TS)的产品,所述装置包括:传送体(10),所述传送体具有旋转轴线和与所述旋转轴线(12)同轴的圆筒形传送表面(14),所述圆筒形传送表面设置有至少一个粘合区(16)的图案,所述至少一个粘合区(16)对于对准液(LQ)具有相对较高的亲和力,所述至少一个粘合区被周围区(18)包围,所述周围区对于所述对准液具有相对较低的亲和力,液体施用设备(20),所述液体施用设备用于将所述对准液(LQ)施用到所述圆筒形传送表面(14)上,基底供应设备(32、34),所述基底供应设备用于供应所述基底(TS),旋转设备(40),所述旋转设备耦接至所述传送体(10)用以使所述圆筒形传送表面(14)绕所述旋转轴线(12)转动,部件施用设备(50),所述部件施用设备用于将相应的箔形部件(CP)施用到所述至少一个粘合区(16)中的所述对准液(LQ)上,以及控制设备(70),所述控制设备用于控制所述装置使得被施用的所述相应的箔形部件(CP)移置至箔形部件面对所述基底(TS)的装配位置,同时被施用的所述相应的箔形部件在所述移置期间通过由所述对准液施加的毛细力对准至所述粘合区,并且所述控制设备用于引起所述装置使被对准的所述相应的箔形部件与所述目标基底在所述装配位置接触以便传送所述箔形部件到所述目标基底。 |
地址 |
荷兰海牙 |