| 发明名称 |
METHOD OF FORMING TRENCH ISOLATED REGIONS WITH SIDEWALL DOPING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU627972(B2) |
申请公布日期 |
1992.09.03 |
| 申请号 |
AU19910069209 |
申请日期 |
1991.01.08 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION |
发明人 |
GREGORY J. GRULA;WALTER C. METZ |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/225;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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