发明名称
摘要
申请公布号 JP2853292(B2) 申请公布日期 1999.02.03
申请号 JP19900193278 申请日期 1990.07.20
申请人 SUMITOMO DENKI KOGYO KK 发明人 SHIMIZU ATSUSHI
分类号 C30B19/00;C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/00 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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