发明名称 LASER-INTERFERED LENGTH MEASURING MACHINE
摘要
申请公布号 JPH11101608(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970261469 申请日期 1997.09.26
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 KOSUGI YASUHITO;MOTOHASHI HIROAKI;TOMOSADA NOBUHIRO;KOYAMA KIYOAKI;ADACHI TOSHIO;TAMURA TETSUJI;OYA AKIRA;IWAOKA HIDETO
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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