发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSOR AND METHOD THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11154656(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
申请号 |
JP19970319660 |
申请日期 |
1997.11.20 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
ARAKI HIROYUKI;ARAI KENICHIRO |
分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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