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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Testen elektronischer Bauelemente
摘要
申请公布号 DE10002831(C2) 申请公布日期 2002.01.03
申请号 DE20001002831 申请日期 2000.01.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 POLNEY, JENS
分类号 G01R31/319;G01R31/3193;(IPC1-7):G01R31/317;H01L21/66;G11C29/00 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
主权项
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